5月30日,2024年國際汽車新材料大會在安徽省蕪湖市順利召開。31日,大會下設的“半導體新材料”分會場以半導體新材料為主題,各報告嘉賓解讀了目前新材料在半導體新材料方向上的研究及應用情況,并提出了未來發(fā)展趨勢。
此會場由國汽輕量化(江蘇)汽車技術有限公司產業(yè)研究工程師張子軍主持,來自中國有研科技集團有限公司、中國科學院理化技術研究所、中國科學院微電子研究所、濟南大學、山東大學、元素六、北京石墨烯研究院有限公司的7位專家、教授在本次會議做了相關報告。
國汽輕量化(江蘇)汽車技術有限公司產業(yè)研究工程師 張子軍
中國有研科技集團有限公司正高級工程師趙鴻濱的報告題目為《信息領域關鍵材料發(fā)展戰(zhàn)略與思考》,向大家介紹了國內外信息領域關鍵材料,如顯示材料、5G通信材料、燃料電池材料的國內外戰(zhàn)略布局、國內企業(yè)與國外主流企業(yè)的技術水平差距、未來發(fā)展趨勢與發(fā)展重點。
中國有研科技集團有限公司正高級工程師 趙鴻濱
中國科學院理化技術研究所高級工程師楊增朝的報告題目為《先進硅基陶瓷燃燒合成新進展》,主要介紹了燃燒合成技術制備先進硅基陶瓷粉體如先進結構陶瓷Si3N4、高溫超疏水陶瓷Si2N2O、低成本β-SiC氣凝膠的最新進展。
中國科學院理化技術研究所高級工程師 楊增朝
元素六亞洲戰(zhàn)略業(yè)務總監(jiān)秦景霞的報告題目為《金剛石在新能源半導體的應用》,主要介紹了化學氣相沉積法和高溫高壓法制備金剛石材料及其在功率器件、散熱材料、量子信息處理等領域的應用。
元素六亞洲戰(zhàn)略業(yè)務總監(jiān) 秦景霞
北京石墨烯研究院有限公司總監(jiān)徐興的報告題目為《石墨烯材料汽車半導體行業(yè)的應用展望》,主要介紹了優(yōu)質二維材料石墨烯材料的應用工藝路徑并著重介紹了石墨烯半導體材料在硅光芯片集成、高性能霍爾傳感器的潛在應用場景。
北京石墨烯研究院有限公司總監(jiān) 徐興
中國科學院微電子研究所研究員、博士生導師張青竹的報告題目為《圍柵堆疊納米片場效應晶體管制備及特性研究》,指出了GAA NSFET是FinFET技術之后在3nm及以下節(jié)點核心技術結構,介紹了其團隊研究和開發(fā)出的適用于堆疊納米線器件制備的多周期GeSi/Si疊層外延、納米線釋放、內側墻工藝、集成熱預算評估等關鍵模塊工藝和兼容主流體硅FinFET工藝的堆疊GAA NS CMOS器件與SRAM單元電路,為國內12吋平臺實現(xiàn)GAA技術奠定技術基礎,并探索和研究新型GAA器件和三維堆疊CFET設計,實現(xiàn)器件性能和電路密度大幅提升。
中國科學院微電子研究所研究員、博士生導師 張青竹
濟南大學研究員逄金波的報告題目為《面向集成電路應用的晶圓級二維材料》,二維材料有很寬的電導率、電磁譜范圍,在量子器件、場效應晶體管、探測器等領域有很大應用潛力,逄金波研究員介紹了國際上二維材料的技術發(fā)展路徑,國內外二維集成電路的進展和晶圓級二維材料制備技術。
濟南大學研究員 逄金波
山東大學副教授穆文祥的報告題目為《氧化鎵單晶生長及缺陷研究》,主要介紹了氧化鎵研究進展、晶體制備與缺陷分析。
山東大學副教授 穆文祥
隨著新能源汽車滲透率的迅速提升,智能座艙、智能駕駛、人機交互等新技術日新月異,半導體材料及相關元器件將是今后的材料開發(fā)與產品研發(fā)中的重要內容,本次會議嘉賓分享的半導體新材料與相關元器件的技術發(fā)展現(xiàn)狀和應用等,將進一步推動整車科技水平向著更高層次邁進。
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